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盛美半导体

盛美半导体设备是一家注册于上海张江高科技园区的、具备世界领先技术的半导体设备制造商,是中国一家专注于集成电路制造产业中电镀铜设备、抛铜设备、单晶圆清洗设备的研发及生产的公司。公司于2008年承担了国家“十一五重大02专项”的任务,拥有国际专利超过100项。


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